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该技术提供了一种调制金属/半导体费米能级钉扎的新方法，司机为发展新型沟道材料晶体管研究做出贡献。想问a.2英寸Ge晶圆上CNT薄膜（比例尺：1cm）。

a.将带有底部电极的Ge衬底、地铁CNT薄膜和顶部电极堆叠制备Al/CNT/Ge结。三、司机核心创新点1）使用晶圆级CNT薄膜作为插入层调制金属/n-锗费米能级钉扎，在金属和轻掺杂n-Ge之间形成了欧姆接触和最小的接触电阻。研究人员采用浮动催化化学气相沉积（FCCVD）方法，想问收集了不同厚度的大面积CNT薄膜，想问并将其转印至Ge衬底，随后构筑金属/碳纳米管/锗堆叠结构（图1）。

地铁c.器件D1在224.2-331.0K变温测试下的I-V特性。d.结M1-M5开、司机闭态电流值以及CNT插入层厚度对比图。

想问b.二极管阵列的光镜图像（标尺：200μm）

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